Microscope à force atomique Park Systems NX-Hivac

Park Systems

LE système sous vide poussé le plus avancé pour l'analyse de défaillance

NX-HIVAC

 

L’équipement Park Systems NX-HIVAC est conçu pour fournir des résultats précis pour l'analyse de défaillance sur des échantillons semi-conducteurs fortement dopés. Utilisant la technologie Park Systems, le NX-HIVAC est un AFM à vide poussé permettant d’effectuer des mesures haute résolution à faible bruit, reproductibles et faciles à acquérir. Cela en fait le choix idéal pour les laboratoires qui cherchent à augmenter leur rendement et la précision de leurs mesures.

 

-Automatisation avancée « StepScan » et alignement laser pour un balayage plus rapide.

-Support multi-échantillons.

-Remplacement de pointe facilité (technologie Park Systems).

-Large chambre sous vide (300x420x300mm).

-Optique « OnAxis » avec longue distance de visualisation.

-Mesures SSRM sous vide poussé permettant d’améliorer la sensibilité.

 

 

SCANNER 

XY : 50µm x 50µm (100x100µm optionnel)

Z : 15µm

 

OPTIQUE 

Objectif : 10x (20x optionnel)

 

STAGE 

XY : 22mmx22mm

Taille échantillon : 50x50mm ; épaisseur < 20mm

 

ELECTRONIQUE 

ADC : 18 canaux 24bits

DAC : 12 canaux 20bits

 

VIDE 

Niveau : < 1 x 10-5 Torr

Vitesse de pompage : < 5 minutes

 

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