Microscope Electronique à effet de champ à pression variable SU 5000

Hitachi High-Technologies

Le MEB à effet de champ à cathode chaude Hitachi SU 5000 combine les avantages de la pression variable et de la haute résolution. Sa chambre analytique permet l'adaptation simultanée de nombreux équipements tels que EDS, WDS, EBSD, cathodoluminescence, etc....

- Résolution garantie : 1,2 nm à 30kV / vide secondaire
- Résolution garantie : 3 nm à 15 kV / vide primaire
- Emission Schottky
- courant de sonde : jusqu'à 200nA
- Tension d'accélération : de 0,1 kV à 30 kV*
- Gamme de pressions dans la chambre : jusqu'à 300 Pa
- Platine porte-échantillons eucentrique grands déplacements, motorisée sur les cinq axes
- Détecteurs SE, BSE et UVD*, In-Lens*

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